Technologie
Photonik

Geschäftstätigkeit
AIXUV entwickelt und produziert kompakte, bedienungsfreundliche EUV Laborstrahlungsquellen sowie kundenspezifische EUV-Systeme und bietet F&E Dienstleistungen und Komponenten im Umfeld der Nutzung kurzweiliger Strahlung (XUV, EUV).

Produkte und Dienstleistungen
Das Kernprodukt ist die von AIXUV entwickelte und durch die Fraunhofer-Gesellschaft weltweit patentierte entladungsbasierte EUV-Quelle. Darauf basierend entwickeln und realisieren sie kundenspezifische Test- und Messsysteme wie Reflektometer und (Nano-) Photolackbelichter.

AIXUV GmbH
Steinbachstraße 15
52074 Aachen

Ansprechpartner:
Dr. Rainer Lebert
Tel.: +49 241 8906-141
Fax.: +49 241 8906-121
Lebert@aixuv.de