Fraunhofer-Beteiligung
Fraunhofer Venture
SURAGUS GmbH
Das Unternehmen
Die 2010 gegründete SURAGUS GmbH entwickelt kundenspezifische, auf dem Wirbelstromverfahren basierende Prüftechnik für die in- und offline Qualitätssicherung in verschiedenen Industrien. Dieses Verfahren eignet sich besonders für die zerstörungsfreie Prüfung von strukturierten und unstrukturierten Funktionsschichten (z.B. TCO-Schichten), von Faser- und Verbundwerkstoffen (z.B. CFK) sowie von klassischen metallischen Werkstoffen.
Technologie und Produkte
Das Wirbelstromverfahren nutzt lokale Leitfähigkeitsunterschiede für die Charakterisierung von Qualitätsmerkmalen wie zum Beispiel Dicke, Schichtwiderstand, Materialhomogenität oder andere physikalischen Veränderungen der Prüfgüter. Die verwendete leistungsstarke Wirbelstromelektronik erlaubt von bis zu 50.000 Messungen pro Sekunde und bietet ein breites Frequenzspektrum von 10 kHz bis 100 MHz, so das unterschiedliche Eindringtiefen und Sensitivitäten je nach Prüfaufgabe genutzt werden können. SURAGUS bietet für alle Produkte eine auf die Prüfaufgabe angepasste benutzerfreundliche Software für die schnelle Echtzeit-Auswertung an. Die Produkte der EddyCus®-Serie können off-line und in-line eingesetzt werden. Der EddyCus®MPECS (Multi Parameter Eddy Current Scanner) wurde für die Erzeugung hochaufgelöster Leitfähigkeitsbilder vom Fraunhofer IZFP Dresden entwickelt. Dieser bietet ein breites Anwendungsspektrum. Für die Detektion von Carbonfasermaterialien kommen speziell angepasste Sensoren, Softwaremodule und Messrezepte zum Einsatz.
Bei der Qualitätssicherung von Carbonfaserwerkstoffen werden berührungslos Wirbel-ströme mit hoher Ortsauflösung induziert und charakterisiert. Die durch Scannen oder den Einsatz von Arrays erzeugten Leitfähigkeitsbilder zeigen einzelne Faserbündel in den verschiedenen verdeckten Schichten. So lassen sich wichtige Fehler detektieren oder die Güte sehr genau nachweisen.
Neben der Prüfung von Faserverbundwerkstoffen ist die inline Qualitätskontrolle von funktionalen Dünnschichten in der Photovoltaik, Display und Architekturglass-Industrie Hauptanwendung der EddyCus®-Serie der SURAGUS GmbH.
EddyCus®MPECS
 | • Berührungslos, Echtzeit-Darstellung von Ergebnissen
• Frequenz von 10 kHz bis 100 MHz • Erstellung von Leitfähigkeitsbildern (C-Scans) mit bis zu 4 Frequenzen mittels Wirbelstromsensoren • Darstellung von strukturierten leitfähigen Dünnschichten • Qualitätssicherung von Carbonfaserwerkstoffen, auch in verdeckten Schichten • Qualitätssicherung von Solarzellen: z.B. Schichtablösungen, Fingerfehlern, Verunreinigungen, Rissen, Inhomogenitäten • Darstellung von Schichtwiderständen • Darstellung von Schichtdicken • Topografie • Automatische Auswertung mit Farbkennzeichnung und umfassenden Filtermöglichkeiten • Datenarchivierung |
EddyCus®TF lab
 | • Berührungslos und Echtzeit
• Schichtdickenmessung von schlecht- und gut-leitfähigen Schichten auf nicht leitfähigen Substraten mit Nanometerauflösung (z.B. Schichten auf Wafern, Glas- und Kunststoff-Folien) • Schichtwiderstandsmessung von leitfähigen Schichten auf nicht leitenden Substraten (z.B. Schichten auf Wafern, Glas- und Kunststoff-Folien) • Schichtwiderstands- bzw. Dickenmessung in Mehrschichtsystemen mittels Differenzmessungen • Wandstärke von niedrig und hoch leitenden Substrate • Einsetzbar für verschiedensten Substratdicken |
EddyCus®TF inline
 | • In-line Qualitätskontrolle von gering und stark leitfähigen dünnen Schichten (z.B. TCO, Metallisierungen)
• Schichtwiderstand Darstellung von 0,01 bis 1000 Ohm/square • Schichtdickemessung von 5 nm • Andere Spezifikationen auf Anfrage • inline oder Traversen - Integration • Schichtcharakterisierung auf Glas, Wafern, Kunststoffen und Folien • berührungslose Messungen in Echtzeit • Single-Point oder Multi-point Messung mit bis zu 16 Sensorpaaren (mehr auf Anfrage) • Sensorpaar-Pitch > 38 mm • Sensorabstand (gap) 5 - 60 mm • Messgeschwindigkeit 100mm/s (mehr auf Anfrage) • Individuelle Systeme unter Berücksichtigung kundenspezifischer Vorgaben • Vakuumtauglichkeit |
EddyCus®Pro 100 MHz
 | • Nachweis von kleineren Leitfähigkeit und Dickenveränderungen
• Hochauflösende Dünnschichtdicken-Messung von niedrig und hoch leitenden Schichten • Charakterisierung der Rauheit von elektrisch leitenden Werkstoffen mit konstanter Leitfähigkeit (RA > 1 µm Material ca. 30 MS/m) • Nachweis von Oberflächenfehlern, Delamination, geometrische Veränderung • Schichtdickenbestimmung von dicken und dünnen leitenden Schichten auf nicht leitenden oder niedrig leitenden Substrate mit sehr hoher Genauigkeit, Spotgröße ca. 5 - 8 mm • Erzeugung von oberflächennahen Tiefenprofilen • Schichtdickenbestimmung von dicken leitfähigen Schichten (> 10 µm) auf leitfähigen Substraten oder aus verschiedenen Schichtstapeln • Charakterisierung von Materialeigenschaften wie Härte oder Mikrostruktur in dünnen oberflächennahen Schichten von hoch und niedrig leitenden Materialien |
EddyCus® Sensor Series
SURAGUS bietet zahlreiche Sensoren optimiert für verschiedene Prüfaufgaben, Genauigkeiten und Umgebungsbedingen an. Für innovative Prüfaufgaben wird in Machbarkeitsstudien die Leistungsfähigkeit der verschiedenen Sensoren getestet bzw. werden simulationsgestützt Sensorkonzepte entwickelt werden.
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